谱写国产CMP设备自立自强“芯”篇章

2023-02-16

中国日报11月10日电（记者 赵磊）走进客户的生产车间，一排排带有烁科装备logo的化学机械抛光（CMP）设备整齐排列，纵横有序，在机器轰鸣声中一片片中国芯应运而生 化学机械抛光（CMP）设备是集成电路制造七大关键设备之一，用于平坦化工艺及铜互联工艺。在...