中国日报11月10日电（记者 赵磊）走进客户的生产车间，一排排带有烁科装备logo的化学机械抛光（CMP）设备整齐排列，纵横有序，在机器轰鸣声中一片片中国芯应运而生……

　　化学机械抛光（CMP）设备是集成电路制造七大关键设备之一，用于平坦化工艺及铜互联工艺。在国家“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”科技重大专项的支持下，中电科电子装备集团有限公司所属北京烁科精微电子装备有限公司于2017年成功研制出我国首台具有完全自主知识产权的200毫米CMP设备，实现从0到1的突破。此后，烁科精微全力专注于推动国产CMP设备自立自强，向着300毫米的目标冲刺。

　　为保障任务完成，公司组建了一只敢打硬仗能打胜仗的年轻“尖刀力量”，他们的工作没有“休息日”，只有进行时；他们为了高端集成电路关键设备自立自强而攻克重重难关；他们有着装备报国的梦想，有着强芯强国的目标，更有着千磨万击还坚劲的精神……

　　300毫米 CMP设备攻坚团队成立之初，便充分吸收200毫米 CMP设备研发成功的经验，以市场需求为导向，打造“双总师”联合攻关体系。

　　由于客户将设备验证放到了真正的生产环节，这对团队来说是个极大的考验，不仅需要提供质量过硬的设备，还需要提高团队的快速响应能力，确保及时快速地处理出现的故障。于是，团队定下“确保24小时无间断提供技术保障”的工作准则，无论何时何地，只要值班电话的铃音响起，成员都要在20分钟内到达现场。

　　“客户的需求永远是第一位的，24小时保障不仅仅是说说而已。”某次客户端一个机台的robot故障了，当时线上积压了大量的wafer需要尽快加工，时间紧急，团队驻厂成员快速响应，与公司紧急联系调配新的robot到客户端，货到时已值深夜，休息的成员听说机台出问题后立刻赶了过来，大家群策群力，一起想办法，做工装，制定拆装计划，历经6个小时紧张的工作，终于成功安装了这个又笨重又脆弱的大家伙。看着机台又顺利地运转起来，每个人疲惫的脸上却笑容满面，等大家出了工厂回住处时，东方已经亮起了鱼肚白。

　　“从零开始，逐项攻坚，我们相信天道酬勤。”300毫米 CMP设备攻坚团队一步步摸着石头过河，潜心研究，步步攀登，最终顺利完成了首台样机的研发、设计、装配和联机调试cmp冠军赞助。

　　团队技术专家为了解决一个难题，白天和客户开会制定实验计划，晚上进净化间通宵测试；机、电、软件的同事为了解决现场问题顶风冒雪赶到现场，和现场人员一起排查；生产和供应链的同事无论在休息或者假日，只要现场有需求，第一时间协调零件发货；为了能长时间的保持工作状态，成员在进FAB前连水都不愿多喝一口，只为在里面呆的更久一点……所有同事使出浑身解数，提升服务水平和质量，全方位做好服务保障工作。

　　经过长时间的努力，团队迎来了客户端产线验证关键节点。这项工作需要长期出差，工作强度高、环境差。党员同志纷纷主动要求加入产线验证的队伍中，带着大家的期盼与设备一同飞往南方客户端现场，进行下一步样机的客户端验证和持续改进。在客户现场，他们通过反复多角度理论分析，千余次实验验证cmp体育，协同工艺、机械、电气、软件、研发等部门进行了120余项CIP持续改进项目，最终使各项关键指标顺利达到客户工艺要求。目前，首台300毫米CMP设备在28nm国际主流产线进行验证，各项关键技术指标均达到28nm工艺技术要求，并为客户贡献流片超3万片。第二台300毫米CMP设备顺利进入客户产线进行工艺验证，产品性能得到不断完善。

　　五年时间，烁科精微完成华丽脱变，自主研制的CMP设备由一开始入驻时的被周围进口设备环伺，慢慢的变成与进口设备分庭抗礼，到现在的完全自主替代、独树一帜，成功占据国内市场重要份额，截至今年已出货超百台，先后荣获客户“最佳供货商”、集成电路产业联盟“优秀供应商”等称号。

　　伟大出自平凡，事业成于实干。“不仅让产品国产化，更要世界化，做到国际领先。”未来，300毫米 CMP设备攻坚团队将继续践行“发展国产装备，铸就国芯基石”的责任担当，在高端制造领域持续奋斗、敢为人先，为高端装备产业化贡献力量。